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潔凈室無(wú)塵環(huán)境控制的重要性

2025/5/23

微粒的來(lái)源分為無(wú)機性微粒、有機性微粒、有生命微粒。對人體,易引起呼吸道和肺部的疾病,同時(shí)也會(huì )使人過(guò)敏,病毒感染;對硅芯片而言,微塵粒子之附著(zhù)將造成集成電路線(xiàn)路的變形或短路,使芯片失去運作功能,因此微污染源的控制已成為無(wú)塵室管理的重要環(huán)節。


潔凈室環(huán)境控制的重要性在于確保生產(chǎn)過(guò)程中的環(huán)境條件符合特定的清潔度標準,這對于許多行業(yè)來(lái)說(shuō)至關(guān)重要。以下是潔凈室環(huán)境控制的重要性和具體作用:

一、確保產(chǎn)品質(zhì)量

1、防止污染:在半導體、制藥、醫療設備等行業(yè),微小的顆粒污染物可能導致產(chǎn)品缺陷或失效。通過(guò)控制潔凈室內的空氣質(zhì)量和微粒濃度,可以有效避免這些污染物對產(chǎn)品造成影響。


無(wú)塵室潔凈度的維持和控制,除了前期硬件設備投資外也需要良好的“軟件”——管理制度來(lái)搭配,方能維持良好的潔凈度。由上圖數據結果來(lái)看,作業(yè)人員對無(wú)塵室內潔凈度影響最大,作業(yè)人員進(jìn)入無(wú)塵室時(shí)塵埃有顯著(zhù)增加,有人員來(lái)回走動(dòng)等動(dòng)作時(shí)潔凈度馬上劣化,可見(jiàn)潔凈度劣化的主要原因是人為因素。

2、一致性:潔凈室環(huán)境有助于維持生產(chǎn)工藝的一致性和可重復性,從而保證產(chǎn)品質(zhì)量穩定。就玻璃基板而言,微塵粒子之附著(zhù)將造成玻璃基板的劃傷,短路和貼附氣泡等制程品質(zhì)不良,而造成報廢。因此對污染源的控制已成為無(wú)塵室管理的重要環(huán)節。

外部塵埃侵入及防止:無(wú)塵室適當正壓保持(>0.5mm/Hg),做好前期施工工程保證不漏氣,人員、設備、原材料、治工具、耗材等攜入無(wú)塵室之前必須做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作。同時(shí)清潔工具需妥善放置及定時(shí)更換或清潔。

無(wú)塵室內發(fā)塵及防止:隔間板、地板等無(wú)塵室材料的適當選用,制程設備的發(fā)生控制即定期保養清潔,生產(chǎn)人員人在其位不得隨意走動(dòng)或較大肢體動(dòng)作,特殊站點(diǎn)采取增加粘塵墊等預防措施。
二、提高生產(chǎn)效率

1、減少廢品率:通過(guò)減少生產(chǎn)過(guò)程中的雜質(zhì)和污染物,可以降低廢品率,提高成品率,從而提高生產(chǎn)效率。

舉例來(lái)說(shuō):晶圓生產(chǎn)有600個(gè)步驟,如果每個(gè)程序的良率均為99%,請問(wèn)經(jīng)600個(gè)制程程序之整體良率為多少?答:0.99600 = 0.24%。為了使一程序在經(jīng)濟考量上具有可行性的,試問(wèn)每一步驟之良率需多高??0.999600= 54.8%,?0.9999600=94.2%,每個(gè)制程良率需要達到99.99%以上才能滿(mǎn)足最終制程良率大于90%,而微粒子的污染就會(huì )直接影響到制程良率。

2、加速流程:在潔凈環(huán)境中工作可以減少不必要的清潔和返工時(shí)間,使得生產(chǎn)流程更加高效。

三、保障人員健康與安全

1、職業(yè)健康:對于一些可能釋放有害物質(zhì)的生產(chǎn)過(guò)程,潔凈室可以防止有害物質(zhì)擴散到外部環(huán)境,保護工作人員的健康。人類(lèi)發(fā)展至今,技術(shù)進(jìn)步、設備進(jìn)步、知識水平提高,但空氣質(zhì)量卻退步了。人一生約吸入27萬(wàn)M3空氣,70%~90%時(shí)間在室內度過(guò)。微小顆粒被人體吸入,沉積于呼吸系統。5~30um的顆粒沉積于鼻咽部位,1~5um的顆粒沉積于氣管及支氣管,1um以下沉積于肺泡壁。

長(cháng)期處于新風(fēng)量不足的室內易患“室內綜合癥”,出現頭痛、胸悶、易疲勞的癥狀,還容易引發(fā)呼吸系統和神經(jīng)系統等疾病。我國國家標準GB/T18883-2002規定,新風(fēng)量不應小于30m3/h.人。

潔凈室的新風(fēng)量應取以下兩項中的最大值:

a.補償室內排氣量和保證室內正壓值所需空氣量之和。

b.保證潔凈室工作人員所需的新鮮空氣。依據<潔凈廠(chǎng)房設計規范>每人每小時(shí)新風(fēng)量不小于40m3。

2、安全生產(chǎn):通過(guò)控制濕度、溫度等環(huán)境參數,可以避免靜電放電等安全隱患,確保生產(chǎn)安全。
四、滿(mǎn)足法規與標準要求

1、行業(yè)標準:許多行業(yè)都有嚴格的潔凈度標準(如ISO 14644),必須在特定等級的潔凈室內進(jìn)行生產(chǎn)。符合這些標準不僅是法規要求,也是企業(yè)競爭力的體現。針對于潔凈工作臺、潔凈棚、層流傳遞窗、風(fēng)機濾網(wǎng)機組FFU、潔凈衣柜、層流罩、稱(chēng)量罩、潔凈屏、自?xún)羝?、風(fēng)淋系列產(chǎn)品,需要規范對現有產(chǎn)品潔凈度檢測的方法,提高產(chǎn)品的可信任度。

2、認證與審核:通過(guò)第三方認證機構的審核,獲得相關(guān)認證(如GMP、ISO 9001等),增強客戶(hù)信任,擴大市場(chǎng)準入。
五、促進(jìn)技術(shù)創(chuàng )新

1、研發(fā)支持:潔凈室為高科技產(chǎn)品研發(fā)提供了理想的實(shí)驗環(huán)境,有助于加快新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)進(jìn)程。

2、工藝優(yōu)化:在嚴格控制的環(huán)境下,更容易觀(guān)察和分析工藝變化對產(chǎn)品性能的影響,從而推動(dòng)工藝改進(jìn)。
六、增強品牌形象

1、品質(zhì)保證:擁有高標準的潔凈生產(chǎn)設施,可以提升品牌形象,增加客戶(hù)對產(chǎn)品品質(zhì)的信任。

2、市場(chǎng)競爭力:能夠在潔凈環(huán)境中生產(chǎn)的產(chǎn)品通常被視為高質(zhì)量和高可靠性的象征,有助于企業(yè)在激烈的市場(chǎng)競爭中脫穎而出。
七、減少維修與維護成本

1、延長(cháng)設備壽命:在潔凈條件下運行的生產(chǎn)設備和工具不易受到腐蝕和磨損,從而延長(cháng)使用壽命,減少維護頻率和成本。


2、降低能耗:通過(guò)優(yōu)化潔凈室的設計和管理,提高能源利用效率,減少能耗和運營(yíng)成本。

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