依據美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無(wú)塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無(wú)塵室的等級只用塵粒數目來(lái)敘述，則可假設塵粒的尺寸是0.5um，無(wú)塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來(lái)表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。

        據查詢(xún)無(wú)塵室等級標準的版本較多，本文整理了兩個(gè)較常用的劃分標準，分別是國際標準 IOS14644-1、中國標準 GB/T16292-1996，詳情請看下表：

空氣潔凈度分級標準：IOS14644-1（國際標準）

空氣潔凈度分級標準：GB/T16292-1996（中國標準）

        亂流式(Turbulent Flow)

        空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵車(chē)間內的空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵室，并由無(wú)塵車(chē)間兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無(wú)塵室等級為1,000-100,000級的。

        優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低，無(wú)塵室擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所可并用無(wú)塵工作臺，提高無(wú)塵車(chē)間等級。

        缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達要求的潔凈度，需耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。

        層流式(Laminar)

        層流式空氣氣流運動(dòng)成均勻的直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%的過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無(wú)塵室等級需求較高的環(huán)境使用，一般其無(wú)塵室等級為Class 1~100。

        其型式可分為二種：

        無(wú)塵車(chē)間水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般下流側污染較嚴重。

        優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變穩定。

        缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

        無(wú)塵車(chē)間垂直層流式：房間天花板完全用ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在生產(chǎn)中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝獠⒉粫?huì )影響其它工作區域。

        優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

        缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。

        復合式(Mixed Type)

        復合式是將亂流式及層流式予以復合并用，可提供局部超潔凈空氣。

        無(wú)塵車(chē)間潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將生產(chǎn)區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員的工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，超大規模集成電路生產(chǎn)大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：彈性擴充容易、維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。

        無(wú)塵車(chē)間潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)最適宜使用。藥品、食品及半導體均適用。

        無(wú)塵車(chē)間并裝局部無(wú)塵室(Clean Spot)：將亂流無(wú)塵室內的產(chǎn)品生產(chǎn)區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，為生產(chǎn)用。

        若想檢驗無(wú)塵室是否達到應用標準，大家可以先從遮蔽率、風(fēng)速&溫濕度、壓差、構成要求這四個(gè)方面考慮：

        遮蔽率

        Air Change：FFU的表面積*風(fēng)速*FFU數量/無(wú)塵室體積

        HEPA遮蔽率：FFU的表面積*FFU數量/無(wú)塵室面積

        風(fēng)速、溫濕度

        氣流速度為：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）

        一般溫度控制范圍：T=（21±2）℃

        一般濕度控制范圍：（45±5）%RH

        壓差

        在兩個(gè)無(wú)塵室間合理的設計壓力差應為10Pa，而在無(wú)塵室和未確認潔凈等級的區域應保持有15Pa的壓力差。當產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時(shí)，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。

        構成要求

        A、不會(huì )因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕

        B、不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著(zhù)粒子

        C、吸濕性小

        D、為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高