CUP——Central Utility Plant 中央動(dòng)力廠(chǎng)房

GEX——General EXhaust 普通及熱排氣

SEX——Scrubber EXhaust 酸排氣

VEX——Volatile orgaic compound EXhaust 有機溶劑排氣

AEX——Ammonia EXhaust 堿性排氣

PCW——Process Cooling Water 工藝冷卻水

PV——Process Vacuum 工藝真空

HV——House Vacuum 真空吸塵

CW——City Water 自來(lái)水

FMCS——Faility Monitoring Contro System 廠(chǎng)務(wù)監控系統

MCC——Motor Control Center 馬達控制中心

VFD——Variable Frequency Device 變頻器

CCTV——Close Circuit Televsion 閉路電視

PA——Public Adress system 廣播系統

FA——Fire Alarm  system 火災報警系統

UPW——Ultra Pure Water 超純水

FWW——Fluoride Waste Water 低濃度氫氟酸廢水

IWW——Industry Waste Water 工業(yè)廢水

OWW——Organic Waste Water 有機溶劑廢水

DAHW——Drain Amonia  Hydride  Waste 含氨廢水

RCL——Recycle water 制程回收循環(huán)水

RCM——Reclaim water 制程回收再利用水

HFW——High Fluoride Waste water 高濃度氫氟酸廢水

BGW——Backgriding Waste water 晶背研磨廢水

SAW——Sulfuric Acid Waste water 硫酸廢液

PAW——Phosphoric Acid Waste water 磷酸廢液

SW——Stripper Waste water 剝離液廢液

TW——Thinner Waste water 清洗廢液

PIX——Pix waste water PIX廢液

SLOW——Oxide slurry waste water 介電質(zhì)研磨廢水

SLWP——Metal slurry waste water 金屬研磨廢水

SLWP——Poly slurry waste water 多晶硅研磨廢水

PN2——Process N2 制程用氮氣

GN2——General N2 一般用氮氣

CDA——Compressor  Dry Air 壓縮干燥空氣

VMB——Valve Manifold Box 閥箱

AHU——Air Handling Unit 空調箱

MAU——Make-up  Air Unit 外氣空調箱

VAV——Variable Air Volume  box 可變風(fēng)量風(fēng)箱

FFU——Fan Filter Unit 風(fēng)車(chē)過(guò)濾器

HEPA——High Efficiency Particulate Filter 高效率過(guò)濾器

ULPA——Ultra Low Penetration Filter 超高效率過(guò)濾器

A/S——Air  Shower 空氣浴塵室

CUP——Central Utility Plant 中央動(dòng)力廠(chǎng)房

FMCS——Faility Monitoring Control System 廠(chǎng)務(wù)監控系統

MCC——Motor Control Center 馬達控制中心

VFD——Variable Frequency Device 變頻器

CCTV——Close Circuit Televsion 閉路電視

SCADA——Supervisory  Control And Data Acquisition 監視控制和數據搜集系

MCC——Motor Control  Center 馬達控制中心

VFD——Variable Frequency Device 變頻器

UPW——Ultra Pure Water 超純水

RO——Reverse Osmosis 逆滲透膜

TOC——Total Organic Carbon 總有機碳

MB——Mixed Bed 混床

UF——UltraFiltration 超濾

SC——Strong Cation 強陽(yáng)離子

SA——Strong Anion 強陰離子

WA——Weak Anion 弱陰離子

DO——Dissolved Oxygen 溶解氧

MD——Membrane  Degasify 脫氣膜

GF——Gravity Filter 重力式過(guò)濾器.

DI——Deionize 去離子水

CQC——Continuous Quality Control 連續品質(zhì)控制系統

VMB——Valve Manifold Box 閥箱

VMP——Valve Manifold Panel 閥盤(pán)

GMS——Gas Monitoring System 氣體監測系統

CDS——Chemical Dispense System 化學(xué)系統

SDS——Slurry Dispense System 化學(xué)研磨系統

ESH——Environment Safety Health 環(huán)境安全衛生

SCBA——Self Contained Brathing Apparatus 自給式空氣呼吸器

AHU——Air Handling Unit 空調箱

MAU——Make-up Air Unit 外氣空調箱

VAV——Variable Air Volume box 可變風(fēng)量風(fēng)箱

FD——Fire Damper 防火風(fēng)門(mén)

FSD——Combined Fire Smoke Damper 防火防煙風(fēng)門(mén)

SD——Smoke Damper 防煙風(fēng)門(mén)

PHX——Plated type Heat Exanger 板式熱交換器

FFU——Fan Filter Unit 風(fēng)車(chē)過(guò)濾器

HEPA——High Efficiency Particulate Filter 高效率過(guò)濾器

ULPA——Ultra Low Penetration Filter 超高效率過(guò)濾器

A/S——Air Shower 空氣浴塵室

A/L——Air Lock 氣閉門(mén)室

DCC——Dry Cooling Coil 干盤(pán)管

FCU——Fan Coil Unit 小型冷風(fēng)機

SF——Smoke Fan 消防排煙風(fēng)車(chē)

EF——Exhaust Fan 通風(fēng)排氣風(fēng)車(chē)

CUP——Central Utility Plant 中央動(dòng)力廠(chǎng)房

GEX——General EXhaust 普通及熱排氣

SEX——Scrubber EXhaust 酸排氣

VEX——Volatile orgaic compound EXhaust 有機溶劑排氣

AEX——Ammonia EXhaust 堿性排氣

PCW——Process Cooling Water 工藝冷卻水

PV——Process Vacuum 工藝真空

HV——House Vacuum 真空吸塵

CW——City Water 自來(lái)水

FMCS——Faility Monitoring Control System 廠(chǎng)務(wù)監控系統

MCC——Motor Control Center 馬達控制中心

VFD——Variable Frequency Device 變頻器

CCTV——Close Circuit Televsion 閉路電視

PA——Public Adress system 廣播系統

FA——Fire Alarm  system 火災報警系統

UPW——Ultra Pure Water 超純水

RO——Reverse Osmosis 逆滲透膜

TOC——Total  organic carbon 總有機碳

MB——Mixed bed 混床

UF——Ultrafiltration 超濾

SC——Strong cation 強陽(yáng)離子

SA——Strong  Anion 強陰離子

WA——Weak Anion 弱陰離子

DO——Dissolved oxygen 溶解氧

M——Membrane Degasify 脫氣膜

GF——Gravity Filter 重力式過(guò)濾器.

DI——Deionize 去離子水

FWW——Fluoride Waste Water 低濃度氫氟酸廢水

IWW——Industry Waste Water 工業(yè)廢水

OWW——Organic Waste Water 有機溶劑廢水

DAHW——Drain Amonia Hydride Wastewater 含氨廢水

RCL——Recycle water 制程回收循環(huán)水

RCM——Reclaim water 制程回收再利用水

HFW High Fluoride Waste 高濃度氫氟酸廢液

BGW——Backgriding Waste water 晶背研磨廢水

SAW——Sulfuric Acid Waste 硫酸廢液

PAW——Phosphoric  Acid Waste 磷酸廢液

SW——Stripper Waste 剝離液廢液

TW——Thinner Waste 清洗廢液

PIX——PIX waste  PIX廢液

SLW-O——SLurry Wastewater Oxide 介電質(zhì)研磨廢水

SLW-M——SLurry Wastewater Metal 金屬研磨廢水

SLW-P——SLurry Wastewater Poly 多晶硅研磨廢水

PN2——Process N2 制程用氮氣

GN2——General N2 一般用氮氣

CDA——Compressor Dry Air 壓縮干燥空氣

VMB——Valve Manifold Box 分流閥組箱

ESH——Environment Safety Health 環(huán)境安全衛生

SCBA——Self Contained Brathing Apparatus 自給式空氣呼吸器

ISO——International Organization for Standardization 國際標準化組織